第129章 打斷光刻機的進程
正所謂時勢造英雄，當時已在台積電擔任光刻技術研發負責人的林本堅，早已注意到這個瓶頸。
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林本堅，男，1942年出生在越南，中國台灣人，祖籍廣東潮汕，美國國家工程院院士，台灣「中央研究院」院士，台灣清華大學、台灣交通大學、台灣大學特聘講座教授，清大—台積電聯合研發中心主任。
林本堅1963年獲得台灣大學電機工程學系學士；1970年獲得美國俄亥俄州立大學電機工程學系博士；2000年—2015年在台灣積體電路製造股份有限公司任資深處長、傑出科技院士和副總經理；2008年當選美國國家工程學院院士；2014年當選台灣「中央研究院」院士；2015年底從台積電退休。
林本堅專注於半導體製程中的微影技術的研發，帶領團隊創造出許多領先全球的技術，包括1.25微米、1微米、0.75微米、0.5微米、0.35微米的微影技術。
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他換個角度思考，發現可以在原有193納米乾式光刻鏡頭上發展浸潤式光刻，改用水代替空氣作為介質，注入為浸潤式設計的鏡頭與晶圓上的光阻之間，把進入光阻的光波長縮到134納米。
（原理很簡單，就是通過水的折射改變光的波長。）
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因而提高44%解析度的影像就可以轉接到晶圓的光阻上，讓刻出的電路更精細。就是這個思考讓林本堅相信，改變原本的193納米乾式曝光為浸潤式，就可以讓工藝前進兩代半甚至三代。
同年，林本堅受邀到美國參加一場以157納米波長為主題的研討會，本來大會邀請林本堅是去討論157納米工藝的。
結果林本堅直接拋出了「運用水作為193納米浸潤式的介質，可以超過乾式的157納米」的論點，整個會場就像被扔下了一顆炸彈，所有人的思路都被打開了。
大家直接拋棄157納米議題開始討論193納米浸潤式。
不過，台下的晶片業者也都提出了自己的疑問，有人提到水會不會產生氣泡？水會不會污染設備？是不是要做防水？怎麽做？水遇熱會膨脹，折射率會改變，怎麽解決？
既然是林本堅提出來的，那解決問題的重任自然也就落到他身上。
但解決了問題還不夠，「最重要的是做量產機器的廠商願意投入才行啊。
配套的廠商總共在157納米光刻機研發上投入了不下十億美元，更有廠商建好了157納米鏡頭材料的工廠。」
林本堅的理論若被採用，等於宣告其他的人前功盡棄。
台積電高層蔣尚義曾回憶，「（當年）確實有大公司的高層領導表達嚴重關切，希望我能管管他（林本堅），不要攪局。」
林本堅提出的浸潤式光刻技術在台積電高層張忠謀、蔣尚義的大力支持下，開始放手一博。
一批曾和林本堅一起奮鬥的台積電領導記得，起初反對方常在國際研討會上與台積電針鋒相對，質疑以水做為介質易產生污染，且水中的氣泡會影響曝光等等。
對外界疑慮有備而來的林本堅，決定更徹底解決，便帶著團隊做該做的實驗，寫該寫的論文。他自己也完成三篇論文，投稿到國際期刊，連還未被提出的質疑也一併設想、響應。
除了技術的理論，林本堅的溝通也做得徹底，當時他跑遍美國、RB、荷蘭與德國等地，一一拜會業界，勸說他們繼續投入157納米是浪費錢浪費時間，促使艾斯摩爾與尼康等國際大廠轉向。
「原本一個美國大廠的代表說他們絕不用這科技，結果一年後，他們也用了。」
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而這樣的在前期的大量技術投入和之後選擇方向的分歧，就導致了光刻機領域王座的交替。
尼康選擇了在157nm上一條道走到黑，卻沒意識到背後有位虎視眈眈的攪局者——阿斯麥。
畢竟這只是理想情況，在精密的機器中加水構建浸潤環境，既要考慮實際性能，又要操心污染。如果為了這一條短期替代方案，耽誤了光源研究，吃力不討好只是其次，被對手反超可就不好看了。
當時尚是小角色的阿斯麥決定賭一把，相比之前在傳統乾式微影上的投入，押注浸潤式技術更有可能以小博大。
於是和林本堅一拍即合，僅用一年時間，就在2004年拼全力趕出了第一台樣機，並先後奪下IBM和台積電等大客戶的訂單。
尼康晚了半步，很快也就亮出了乾式微影157nm技術的成品，但畢竟被阿斯麥搶了頭陣，更何況波長還略落後於對手。
等到一年後又完成了對浸潤式技術的追趕，客戶卻已經不承認「老情人」，畢竟光刻機又不是小朋友玩具，更替要錢，學習更要成本。
隨後兩者的差距越拉越大，尼康的光刻機也就只能在中低端使用了。
（注意：我們現在說的光刻機製程絕大部分都是「浸潤式」DUV深紫外光光刻機，7nm以下用的才是EUV極紫外光光刻機。）
……
因此，可以說林本堅提出的「浸潤式」光刻技術既是推動光刻機技術繼續發展的理論，也是改變光刻機格局的潛在推動力量。
而這也是李星燦做出那個「不人道」決定的原因——李星燦想打斷光刻機的進程，從而維持一段時間內相對均衡的局勢。
一段時間內相對均衡的光刻機廠商局面，對於想要追趕的中國來說，形成的外部環境優勢會更加明顯。
同時在未來，中國將會有更多的時間和機會去追趕。
（至於有些某點小說，上來就敢搞光刻機的，那真的都是神仙——都tm可以「無中生有」！當然另一方面娛樂至上的話，也可以理解……）
對於像中芯國際這樣的顧客來說，「一家獨大」遠不如「各有千秋」來得好。
這也是Intel扶持尼康的原因之一，當然後來實在是扶不動（尼康的技術實在不行。），就被放棄了。
除此之外，李星燦對於台積電的整體感官也並不太好，這也減輕李星燦的道德壓力。（或者說，有些敵視。）
2008年前後，台積電曾兩次狀告「中芯國際」技術侵權，強制迫使創始人張汝京離職，「中芯國際」迅速崛起的勢頭一下子頓挫，看樣子似乎就是想把中芯國際扼殺在搖籃里。
當然，商場如戰場，從法理的角度來說，這麼做也沒什麼。
但是在2018年的一次採訪，張忠謀又說了：「中國大陸不應該搞晶片製造，而應該注重於晶片設計領域，晶片製造交給台灣就好了。」
你要是在中國介入晶片製造這個領域之前，一開始就說這個話，那可以說是提意見和看法。
但是在2018年這個節點，中國已經擺好姿態，擺明要在半導體的各個領域開始發力，你再說這個話，怎麼看都是想擾亂中國半導體發展的局勢，在為自己謀取利益。
……
當然從事實來說，我們不可否認的是正如張忠謀說的那樣，在晶片製造領域很難彎道超車。
但是就像當年造原子彈（從技術上來說，光刻機比當初造原子彈更難）的時候，老大哥有，但是它不給，還搞技術封鎖。
與此同時，面臨的國際局勢也很艱難，但是我們也沒有選擇放棄。
卻說出來一句充滿艱辛而又飽含深情的話：「爹有娘有（現在是兒子有），不如自己有。」