第一千零七章 晶片之戰·真正的原因【求訂閱】
「不要泄氣,搞研發就是如此,到底是什麼問題?」許振鳴在電話里給郭連生打氣,隨後就安排司機送他去鳴芯製造公司3號廠房。
無塵車間裡,郭連生的團隊正在拆卸蝕刻機的外殼,工人們都陰沉著臉,一聲不吭的在幹活。
「許董,看樣子國產等離子發生器的質量不行,換到老外的主機系統上根本不配套。」看到許振鳴走來,郭連生摘下口罩朝許振鳴苦笑著搖頭。
對於蝕刻機這種高精尖的機電一體化產品,許振鳴也已經是外行人了。蝕刻機用等離子光束清洗光刻膠,肉眼只能看到一束光在矽晶圓片上掃射,除非用高精度電子顯微鏡才能看到部分矽晶圓片的電路蝕刻情況。
故此,許振鳴沒有不懂裝懂,而是皺著眉頭問道:「你認為這是機械問題,還是控制問題,或者是系統問題?」
按照許振鳴的理解,郭連生的團隊在試驗之前,應該用國產蝕刻機做過一些調試實驗。他想知道用國產蝕刻機來蝕刻晶片電路的時候是否穩定,是否有過成功的案例。
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「有是有過,但很不穩定。有時可以做到130納米,有的時候就做不到。所以我們採用替換法來找原因。」
「那你們離成功還遠的很吶。」許振鳴不由得的一揮手,示意郭連生應該冷靜下來,召開技術討論會,探討一下國產蝕刻機不穩定的故障緣由。
見老闆如此吩咐,郭連生朝幾位帶著眼鏡的工程師招了招手,「都停下來,咱們去會議室開會。」
不多久,眾人來到無塵車間內的一個內部小會議室,大家在無影燈下的小會議桌圍坐一圈。
「你們先說說,咱們國產蝕刻機不穩定的真正原因在哪兒?」待眾人都入座之後,郭連生臉色陰沉的朝手下的工程師們掃了一眼。
「許董,我認為咱們研發的思路有點問題。蝕刻機的研發應該走逐步國產之路。」
「我以為小王說得對。咱們應該先做蝕刻機的核心部件等離子發生器,然後再做主機系統。至於自動化控制系統,那是咱們的強項,不再考慮之列。」
「等離子發生器不是已經做了好嗎?關鍵這套系統的光源不穩定呀!」
受到打擊的工程師們都有點灰心喪氣,認為問題就出在等離子發生器的身上。
等離子發生器是郝寧教授團隊的作品,但機械部分卻又是洪愛國團隊的配合。這下需要郝寧教授跟洪愛國派人來檢查原因了。
聽到這番議論,郭連生的臉色就跟難看,「咱們不能推卸責任。這故障本來就應該我們負責檢查和調試的。」
在他看來,光源部分的系統郝寧教授已經做過很多次試驗,而且已經拍胸部保證沒問題,不會出現等離子束不穩定的事情;洪愛國團隊製造的基座、支架等都用最先進的數控工具機全機加工而成,精度肯定沒問題。
那麼出現今天這種情況,以及前面幾次試驗的故障情況等,統統都是他們半導體裝備製造公司設計,或者組裝調試出了問題。
聽完這個小故事,許振鳴總算搞明白是咋回事了。
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