第718章光刻機
第718章光刻機
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南廣林果然不愧是我國計算機領域首屈一指的科學家,在他的感召下,兩周時間就有十多個青年計算機領域的科研工作者加入到他麾下。Google搜索sto55.com思兔閱讀
研發團隊的架子算是搭起來,下一步就要確立主攻方向。
南廣林很尊重韓小東,畢竟人家掏出了現金白銀,整整兩千萬,那可是錢,不是紙。
為此南廣林專門找韓小東就此事做了一番長談。
「小東,如今研發人員有了,咱們也該確定一下未來的研發方向,我想聽聽你的意見。」
韓小東很謙虛,「南工,在這方面我完全是個門外漢,主要還是要聽你的意見。」
南廣林思索了一下,「小東,我還是想研發晶片。」
果然如此。
前世,南廣林在離開連想後,加入了園洲公司,在二零零一年四月研發出華夏第一片自己設計的嵌入式晶片園洲一號,在當時的科技界造成了非常大的轟動。
只可惜,搭載了園洲一號晶片的NC是基於Linux工作環境,它聯上網際網路後同樣需要伺服器端的支持,而伺服器端被微軟和英特爾(WinTel)聯盟把持,他們根本不支持NC內嵌的Linux工具軟體,因此NC在網際網路環境下的使用大受局限。
後期南廣林和園洲公司的董事長在這件事情上產生了很大的分歧,最後南廣林不得不負氣離開,導致這個晶片項目中途落馬。
韓小東不想讓歷史重演一遍。
他斟酌了一下語言,「南工,你有沒有想過?
咱們能不能研發出光刻機來?」
「光刻機?」
南廣林有些吃驚,「小東,難道你想研發光刻機?
這東西可比晶片更費錢。」
「南工,我說過,錢是我考慮的問題,你只需要考慮科研上的事情,南工,你就說依靠我們自己的力量能不能做成這件事,如果可行,花多少錢我都願意。」
南廣林並沒有馬上回答韓小東這個問題,他有著科技工作者獨有的嚴謹,他足足思考了三分鐘,這才緩緩開口。
「小東,其實咱們國家的光刻機製造,很早以前就開始了。」
1965年華夏科學院研製出65型接觸式光刻機。
1970年,華夏科學院開始研製計算機輔助光刻掩模工藝。
1972年,武漢無線電元件三廠編寫《光刻掩模版的製造》。
1977年,我國最早的光刻機-GK-3型半自動光刻機誕生,這是一台接觸式光刻機。
1978年,1445所在GK-3的基礎上開發了GK-4,但還是沒有擺脫接觸式光刻機。
1980年,清華大學研製第四代分步式投影光刻機獲得成功,光刻精度達到3微米,接近國際主流水平。
1981年,華夏科學院半導體所研製成功JK-1型半自動接近式光刻機。
1982年,科學院109廠研製出了KHA-75-1光刻機,這些光刻機在當時的水平均不低,最保守估計跟當時最先進的canon相比最多也就不到4年。
1985年,機電部45所研製出了分步光刻機樣機,通過電子部技術鑑定,認為達到米國4800DSW的水平。
這應當是華夏第一台分步投影式光刻機,華夏在分步光刻機上與國外的差距不超過7年。
南廣林的腦子就像一部計算機,上面這些數據被他如數家珍的一一道出。
他的聲音變得越來越低沉,「只可惜進入九十年代後,我國光刻機光源長時間被卡在193納米無法進步,這個技術非常關鍵……而且在八十年代,我國和米國的關係得到改善,很多過去對我們限制的高科技產品,現在都可以賣給我們了,國外的光刻機產品,性價比遠高於自我研發,我國光刻技術的研發和產業化實質上放棄了自主攻關。」
「小東,你的心情我能理解,之前我說過,如果我們搞晶片研發,資金要以千萬為單位計算,但是如果搞光刻機的話,直接就要以億為單位了。」
「現在國際上生產光刻機最強的國家是霓虹國,尼康聽說過嗎?
我們國家在193納米這個指標上被卡住多年了,而尼康現在已經採用157nm的 F2雷射,至少領先我們二十年。
小東,就算你有錢,但作為長輩和朋友,我勸你一句,光刻機還是不要碰為好,它會讓你傾家蕩產。」
南廣林的話語重心長,可謂是掏心窩子說的。
韓小東微微一笑,「南工,今年八月份我送燕曉去康奈爾大學……」
南廣林見他突然說起不相干的事,有些奇怪,但是他出自對韓小東的信任,仍然耐心的聽了下去。
「在康奈爾大學附近的咖啡館,我偷聽到過一個華裔科學家說了一段關於光刻機技術的話,原話我記不住,但是大概意思是這樣的……」
「水會影響光的折射率——在透鏡和矽片之間加一層水,就會降低光的波長,南工,你覺得這個方法可行嗎?」
「加一層水?」
南廣林整個人似乎都傻掉了,他不停的重複這四個字。
足足幾分鐘,南廣林突然站了起來,「小東,你說的這個華裔科學家叫什麼名字?」
「南工,我都說了我是偷聽的,又怎麼會知道對方的名字?」
韓小東氣定神閒地端起咖啡杯,淺淺的喝了一口。
南廣林是華夏最傑出的計算機科學家,只需要一點撥,那層蒙在我們眼前的窗戶紙就會破掉。
韓小東剛才說的就是讓世界震驚的「浸潤式微影技術」,徹底改變了集成電路的生產。
這項技術是在透鏡和矽片表面的間隙中,用水代替空氣以提高解析度。
當全世界的半導體研發團隊都在專注於157納米波長技術時,這項技術創造性地以193納米波長的光,通過水作為介質,將其縮短至134納米。
這項技術是前世台積電一位天才的林姓科學家發明的,那一年是二零零二年。
而現在是一九九五,如果華夏提前七年起跑,會不會把對手拉在身後?
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