第283章 首塊晶圓的誕生
冷風卷著空氣被電離的焦糊味,迅速消失在漆黑的夜色里。
絕密車間厚重的防爆門後,卻翻滾著另一股足以熔穿鋼鐵的熱浪。
轟——嗡嗡嗡!
單晶矽提純設備在車間正中央發出低沉的運轉轟鳴,連帶著腳下的水泥地面都在微微發顫。
龐大的機械臂凌空探出,鋼鐵關節摩擦出刺耳的銳響。
機械爪死死鉗住第一批高純度多晶矽原料,精準地移向提純爐上方。
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哐當!
厚重的爐蓋向兩側滑開。
機械臂猛地往下一沉,將整箱原料穩穩送入熾熱的爐膛。
刺目的火光瞬間噴涌而出,將整個車間的牆壁映得通紅。
程美麗站在三米外的爐溫控制面板前,身上披著一件寬鬆的白大褂。
滾燙的熱浪撲面而來。
她嫌棄地皺了皺鼻子,抬手往後撥了一下被汗水沾濕的額發。
陸川站在她右後側,單手捏著一塊用冷水浸過的乾淨毛巾,直接覆在她的後頸上。
冰涼的觸感透過皮膚傳開。
程美麗舒服地眯了一下眼睛,左腳往前踏出半步,目光鎖死在屏幕上。
黑底綠字的代碼瀑布般飛速滾動。
「偏高了。」
她吐出三個字。
沒有任何猶豫,程美麗雙手按上工業鍵盤,十指化作殘影,重重敲擊按鍵。
噠噠噠!
底層控溫代碼被她強行覆寫。
「咔!」
回車鍵被一指按下。
提純爐內部發出「嘶」的一聲劇烈泄壓聲。
狂暴的火光肉眼可見地暗了一個色號。
熔煉的極限溫度曲線,被她用一段強行插入的指令,硬生生往下壓了十五度。
車間裡幾名監測數據的技術員呼吸一滯,連大氣都不敢喘。
「穩住了!」
有人壓低嗓音喊了一聲。
程美麗離開控制台,從口袋裡摸出一顆薄荷糖剝開,塞進嘴裡。
她拉過一把摺疊椅坐下,翹起二郎腿,目光盯著提純爐的方向。
三小時後。
轟鳴聲逐漸減弱。
咔噠!
提純爐底部的出料口在液壓杆的推動下,緩緩向兩側滑開。
白色的高溫蒸汽貼著地面瘋狂溢出。
牽引底座開始向上拉升。
一根通體泛著銀灰色冷光的高純度單晶矽棒,順著牽引杆被一點點拉制出來。
矽棒表面平滑得不帶一絲紋理,在車間頂燈的照射下,折射出冷硬刺骨的金屬光澤。
「出爐了!」
技術組長戴著隔熱手套,快步衝上前。
他拿起切割電鋸,對準矽棒尾端狠狠切下。
火星四濺!
一塊銀幣大小的矽棒切片掉落在托盤裡。
技術組長用醫用長鑷夾起切片,一路小跑沖向操作台,將其送入高精度質譜儀的檢測艙。
滴!
掃描紅光亮起。
整個車間靜得只能聽見質譜儀機箱散熱風扇的轉動聲。
所有人的視線死死釘在上方懸掛的電子投屏上。
滴——滴滴!
檢測結果瞬間躍上大屏。
99.999999%。
一串刺眼的綠色數字。
八個九。
李副部長站在人群最前面,眼珠子幾乎要瞪出眼眶,雙手死死攥住前排的欄杆。
「成了!」
他猛地一拍大腿,仰起頭放聲大笑。
笑聲震得頭頂的白熾燈都在晃。
車間內的專家與工人們愣了一秒,隨即將手裡的圖紙和手套高高拋向半空,互相死死抱在一起。
震耳欲聾的歡呼聲瞬間掀翻了車間的屋頂。
程美麗坐在椅子上,被這沖天的嗓門吵得用手捂住了耳朵。
她嚼碎嘴裡的薄荷糖,沒好氣地白了李副部長一眼。
「嚎什麼。」
「提純只是第一步,切不出來薄片,這矽棒就是根燒火棍。」
歡呼聲戛然而止。
李副部長搓了搓通紅的臉頰,立刻朝後招手。
「上切割機!快!」
吊車緩緩移動,將那根沉重的單晶矽棒穩穩吊起,推入一旁的金剛石線切割機艙內。
卡扣鎖死。
滋——!
高壓冷凍液噴涌而出,化作白色的水霧罩住整個切割區。
金剛石線圈開始以肉眼難以捕捉的速度瘋狂運轉。
極細的切割線狠狠咬進矽棒表面,發出令人牙酸的撕裂聲。
金屬碎屑混著冷凍液,在防爆玻璃內壁上砸出一片泥濘。
十分鐘後。
切割聲停歇。
機艙門彈開。
第一批標準八英寸晶圓被機械抓手切下,整整齊齊地碼放在無塵操作台的托盤內。
每一片都薄如蟬翼,表面光潔如鏡,倒映著車間刺眼的白光。
程美麗站起身,走到無塵操作台前。
她沒有戴手套,而是直接用一把定製的防靜電竹鑷,捏起一片剛切好的晶圓。
薄薄的矽片在她指尖轉了半個圈。
她將其平放在高倍電子顯微鏡的載物台上,低頭湊近目鏡。
右側的旋鈕被她快速擰動,焦距在一瞬間鎖定。
顯微鏡下的視場裡,晶圓表面的微觀結構暴露無遺。
程美麗看了一眼,眉頭立刻擰成了一個死結。
她直起身,把竹鑷往托盤裡重重一扔。
啪!
「廢品。」
兩個字,輕飄飄地砸在操作台上。
周圍剛準備鼓掌的技術員們集體僵住,臉上的喜色瞬間凝固。
李副部長急忙湊上來,聲音發緊。
「程工,哪裡不對?」
「平整度。」
程美麗指著托盤裡的那堆晶圓,語氣冷得掉冰渣。
「你們現在用的塗層工藝,藥液分布存在明顯的厚度落差。」
她豎起一根手指。
「0.1微米的平整度誤差。」
「這種表面,只要上了光刻機,光線一照就會產生衍射畸變。」
「刻出來的電路不僅會短路,還會直接燒穿底板。」
幾個核心工程師臉色煞白,後背冒出一層冷汗。
0.1微米的誤差,在他們現有的認知里,已經是極限的極限。
「這……」
一名老工程師咽了一口唾沫。
「程工,咱們現有的光刻膠配方粘稠度太高,旋塗機根本甩不平這0.1微米啊。」
「甩不平就換配方。」
程美麗沒理會他們的難處,雙手揣進白大褂的口袋裡,閉上了眼睛。
意識深處,系統面板瞬間亮起。
她點開跨時代物資商城的檢索欄。
【搜索指令:極紫外光刻膠配方圖譜。】
金色的商品圖標在面板中央緩緩浮現,帶著一股不可侵犯的科技威壓。
【叮!兌換確認。】
【該圖譜為跨時代機密技術,將扣除宿主五萬點作精值。】
程美麗的指尖在虛空中毫不猶豫地按下確認鍵。
【作精值已扣除,當前餘額:93180點。】
【下一代極紫外光刻膠合成配方圖譜,已自動生成於隨身空間。】
她睜開眼,長長的睫毛在白熾燈下投下一片陰影。
程美麗偏過頭,看了一眼身側的陸川。
她嘴角微翹,指尖在金屬操作台上不緊不慢地敲了兩下。