第110章 光刻膠之戰
2006年春,蘇州工業園區。
王晨站在一間無塵車間外,透過玻璃窗看著裡面忙碌的身影。
這裡是國家"02專項"光刻膠攻關組的實驗基地,三十多名研究員正在調試第47批樣品。
"王總,這批的金屬離子含量降到10ppb了。"攻關組組長陳教授摘下防護面罩,臉上帶著疲憊的興奮:"比上一批又降了兩個數量級。"
王晨接過檢測報告,ppb,十億分之一。
進口光刻膠的標準是5ppb,他們還有一倍的差距。
但這一倍的距離,已經從最初的望塵莫及,變成了肉眼可見。
"曝光測試做了嗎?"
"做了。"陳教授的表情黯淡下去:"解析度還是差,28納米線寬出現邊緣粗糙,良率只有62%。"
62%。
晨芯的產線要求95%以上。
這意味著,即便光刻膠純度達標,工藝窗口仍然打不開。
王晨沉默片刻,忽然問:"陳教授,您看過我三年前寫的DVD解碼方案嗎?"
"看過,自適應算法,業內經典。"
"那時候我用的是最便宜的空白晶片,但通過動態調整參數,讓劣質硬體跑出了優質效果。"
王晨指著報告上的數據:"光刻膠也是一樣。純度不夠,我們可以改光刻機的曝光策略;解析度不足,我們可以調整顯影液配方和蝕刻流程。不是等材料完美,而是讓系統適配材料。"
陳教授眼睛一亮:"你是說......工藝協同優化?"
"是。"王晨從包里掏出一份文件:"這是我讓晨芯團隊做的《國產光刻膠工藝適配白皮書》,包括曝光能量補償模型、顯影時間動態算法、蝕刻氣體配比調整。我們不追求單項指標超越,追求系統級達標。"
陳教授快速翻閱,手微微顫抖。
這份方案不是紙上談兵,每一頁都附著晨芯產線的實測數據,每一個參數都經過量產驗證。
"王總,這......這相當於把晨芯的核心Know-how開放給我們了。"
"是開放給國家。"王晨糾正道:"晨芯的算法專利,我申請無償許可給02專項所有成員單位。條件是,三年內,國產光刻膠必須進入量產,優先供應晨芯。"
陳教授握住他的手,眼眶發紅:"三年......我拼了這條老命,也給你做出來。"
走出實驗樓,春雨淅瀝。
王晨的手機響了,是方雅琳打來的。
"王晨!"方雅琳道:"東南亞客戶全轉向了!美國禁令反而幫我們做了GG,現在連印度、巴西的客戶都在問,中國晶片能不能替代德州儀器。"
"物流呢?"
"走香港轉口,或者直接從蘇州發貨。"方雅琳壓低聲音:"但有些敏感地區,海運會被攔截。我在談一條陸路,從新疆出境,經中亞到中東。"
"風險很大。"
"風險大才沒人做。"方雅琳道:"王晨,這不是生意,是戰爭。我在幫你打一場晶片戰爭!"
王晨看著屏幕里那個曾經只會撒嬌的大小姐,如今滿臉風霜卻目光如炬。
他想起三年前在外灘,她說"我喜歡你",然後轉身離開。
這三年,他們每周通話,每月見面,卻始終沒有再談那個話題。
"方雅琳。"王晨忽然說:"等光刻膠量產,我帶你去蘇州看櫻花。"
方雅琳先是一愣,接著就笑了起來:"王晨!你這是約會邀請嗎?三年了,你終於開竅了?"
"是感謝。"王晨也笑了:"也是......想讓你看看,我們一起打下的江山。"
"江山?"方雅琳道:"好,我等著。但先說清楚,看完櫻花之後呢?"
王晨望向遠處實驗樓的燈火:"之後......還有EUV光刻機,還有7納米,還有CPU、GPU、AI晶片。這條路很長,我需要有人一起走。"
"有人?"方雅琳問:"你是說我嗎?"
王晨笑了笑:"不止有你。"
電話那頭沉默了幾秒,方雅琳語氣變得認真:"王晨,我知道還有林語薇。她的產業基金投了晨芯B輪,你們每周開戰略會。我不問你選誰,我只問你......"
"問什麼?"
"問你能不能做到,對我們每個人都誠實。"
王晨看著屏幕里那雙眼睛,想起林語薇三個月前在產業基金年會上的發言。
她說:"晨芯代表的不是王晨個人,是中國半導體產業的某種可能性。我投資的是這種可能性,不是某個人。"
但發言結束後,她在走廊里攔住他,只說了一句話:"我父親的病重了,林氏集團要拆分。等忙完這陣,我想去蘇州看看你的光刻膠。"
兩個女人,兩種陪伴。
一個熱烈如夏,一個清冷如秋。
他從未承諾過任何一個,卻也從未欺騙過任何一個。
"我能做到。"王晨對方雅琳說,"對你們,對晨芯,對我自己,都誠實。"
方雅琳看了他很久,最後輕輕點頭:"那就夠了。蘇州見。"
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2008年,全球金融危機。
王晨站在晨芯科技新總部的頂層,俯瞰著深圳灣的燈火。
這棟大樓是三年前蓋的,當時晨芯剛實現年度盈利,員工們說要辦個慶典,他說不如蓋棟樓,讓後來者知道,中國晶片公司也能有自己的地標。
但現在,地標在風雨中搖晃。
"王總。"助理小陳敲門進來,臉色蒼白:"美方代表團到了,商務部,還有......英特爾的人。"
王晨整理了一下領帶。
三個月前,美方突然釋放信號,願意就"實體清單"進行談判。
條件是晨芯開放28納米以上製程的技術審計,並接受"可信供應商"認證。
這是和解,也是收編。
會議室里,美方代表團的領隊是個五十多歲的女人,金髮碧眼,笑容像刀鋒上的蜜糖。
"王先生,我們關注晨芯很久了。"她用流利的中文說,"你們的自適應算法很有創意,但建立在......不太穩固的基礎上。如果晨芯願意加入全球半導體供應鏈的'負責任參與'框架,我們可以考慮解除部分限制。"
"部分限制?"
"光刻膠、部分EDA工具。"女人推過一份文件,"EUV設備暫時還不行,但我們可以提供技術諮詢,幫助晨芯提升現有產線的效率。"